三菱ガス化学は10日、米国で半導体製造時に使う高純度薬品の生産能力を増やすと発表した。超純過酸化水素と超純アンモニア水の生産設備を増強し、2025年6月から稼働を始める。米国で進む半導体製造工場の新設需要に対応する。
高純度薬品は半導体の製造工程でウエハーやチップの洗浄に使われる。三菱ガス化学は超純過酸化水素の世界シェア首位で、米国での年間の生産能力は14万トンに上る。テキサス工場とオレゴン工場でそれぞれ3万5000トン増やし、25年6月までに生産能力を5割引き上げる。超純アンモニア水は6割増の1万3400トンにする。
投資額は非開示。国際協力銀行などから総額6100万ドル（約92億円）の融資を受け、その一部を充てる。米国は中国に頼らない半導体供給網の構築を進めている。
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